1982年毕业于西安交通大学半导体物理与器件专业；1987年和1992年先后在西安交大电子工程系研究生毕业，分别获工学硕士和博士学位；其中1990-1991年作为联合培养博士生留学于日本东京工业大学。1982年起在西安交大电子工程系任教，1992年任副教授。1993-1995年为中科院上海冶金研究所（现上海微系统所）博士后、副研究员；1995年任研究员、所长助理；1997-2004年任信息功能材料国家重点实验室主任、博士生导师；1999年任副所长；2010年任党委书记兼副所长。现任中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师、党委书记。长期从事化合物半导体微结构材料的分子束外延生长及其器件应用研究，在国内外学术刊物和会议上发表论文100多篇，获得授权发明专利20余项；先后获国家科技进步奖1项、省部级科技成果奖5项，享受政府特殊津贴；并担任中国有色金属学会半导体材料学术委员会副主任委员、中国电子学会半导体与集成技术分会委员、上海市信息化专家委员会委员、《半导体学报》编委等。